Metoda isparavanja elektronskim snopom je vrsta presvlake vakuumskim isparavanjem, koja koristi elektronske zrake za direktno zagrijavanje materijala za isparavanje u vakuumskim uvjetima, isparavanje materijala za isparavanje i transport do supstrata, te kondenzaciju na podlozi kako bi se formirao tanak film.U uređaju za grijanje elektronskim snopom, zagrijana tvar se stavlja u vodeno hlađeni lončić, što može izbjeći reakciju između materijala za isparavanje i stijenke lončića i utjecati na kvalitetu filma.U uređaj se može postaviti više lonaca kako bi se postiglo istovremeno ili odvojeno isparavanje i taloženje različitih supstanci.Uz isparavanje elektronskim snopom, bilo koji materijal se može ispariti.
Isparavanje elektronskim snopom može ispariti materijale visoke tačke topljenja.U poređenju sa opštim otporom grejanja na isparavanje, ima veću toplotnu efikasnost, veću gustinu struje snopa i bržu brzinu isparavanja.Film i film od raznih optičkih materijala kao što je provodljivo staklo.
Karakteristika isparavanja elektronskog snopa je da neće ili rijetko pokriti dvije strane ciljne trodimenzionalne strukture, i obično se taloži samo na površini mete.Ovo je razlika između isparavanja elektronskim snopom i raspršivanja.
Isparavanje elektronskih zraka se obično koristi u polju istraživanja poluvodiča i industrije.Ubrzana energija elektrona se koristi da udari u materijalnu metu, uzrokujući da materijalna meta ispari i podigne se.Na kraju deponovan na metu.
Vrijeme objave: Dec-02-2022