Metoda isparavanja elektronskim snopom je vrsta presvlake vakuumskim isparavanjem, koja koristi elektronske zrake za direktno zagrijavanje materijala za isparavanje u vakuumskim uvjetima, isparavanje materijala za isparavanje i transport do supstrata, te kondenzaciju na podlozi kako bi se formirao tanak film. U uređaju za grijanje elektronskim snopom, zagrijana tvar se stavlja u vodeno hlađeni lončić, što može izbjeći reakciju između materijala za isparavanje i stijenke lončića i utjecati na kvalitetu filma. U uređaj se može postaviti više lonaca kako bi se postiglo istovremeno ili odvojeno isparavanje i taloženje različitih supstanci. Uz isparavanje elektronskim snopom, bilo koji materijal se može ispariti.
Isparavanje elektronskih zraka može ispariti materijale visoke tačke topljenja. U poređenju sa opštim otporom grejanja na isparavanje, ima veću toplotnu efikasnost, veću gustinu struje snopa i bržu brzinu isparavanja. Film i film od različitih optičkih materijala kao što je provodljivo staklo.
Karakteristika isparavanja elektronskog snopa je da neće ili rijetko pokriti dvije strane ciljne trodimenzionalne strukture, i obično se taloži samo na površini mete. Ovo je razlika između isparavanja elektronskim snopom i raspršivanja.
Isparavanje elektronskim snopom se obično koristi u polju istraživanja poluvodiča i industrije. Ubrzana energija elektrona se koristi da udari u materijalnu metu, uzrokujući da materijalna meta ispari i podigne se. Na kraju deponovan na metu.
Vrijeme objave: Dec-02-2022