Metalna rotirajuća meta
Ortogonalna magnetska i električna polja primjenjuju se između mete za raspršivanje (katode) i anode.I napunite potreban inertni gas (obično Ar gas) u komoru visokog vakuuma.Pod dejstvom električnog polja, gas Ar se jonizuje u pozitivne ione i elektrone.Na metu se primjenjuje određeni negativni visoki napon, magnetno polje djeluje na elektrone koje emituje meta, povećava se vjerovatnoća jonizacije radnog plina, formira se plazma visoke gustine u blizini katode, a ioni Ar su pogođeni. Lorentzovom silom.Zatim ubrzajte da odletite do površine mete i bombardirajte površinu mete velikom brzinom, tako da raspršeni atomi na meti slijede princip konverzije momenta, lete od površine mete do podloge i talože film visoke kinetičke energije.
U cilju daljeg poboljšanja stope iskorišćenja ciljnog materijala, projektovana je rotirajuća katoda sa većom efikasnošću upotrebe, a za nanošenje premaza se koristi cevasti ciljni materijal.Poboljšanje opreme za raspršivanje zahtijeva promjenu mete iz ravnog u cijevni oblik, a stopa iskorištenja cijevne rotirajuće mete može biti i do 70%, što u velikoj mjeri rješava problem niskog iskorištenja ravne mete.
Naziv proizvoda | Metalna rotirajuća meta |
Materijal | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
Veličina vruće prodaje | ID-133/ OD-157x 3191 mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Može se obraditi i prema specifičnim zahtjevima kupaca |
MOQ | 3 komada |
Paket | Slojna drvena kutija |
Aplikacija
Raspršivanje je nova vrsta fizičke metode nanošenja pare.U poređenju sa metodom premaza evaporacijom, ima očigledne prednosti.
u mnogim aspektima.Metalne mete za raspršivanje se koriste u mnogim poljima.Glavna primjena rotirajuće mete.
■Solarne ćelije
■Arhitektonsko staklo
■Auto staklo
■Semiconductor
■TV ravnog ekrana itd
Informacije o narudžbi
Upiti i narudžbe treba da sadrže sljedeće informacije:
☑Specifikacija cilja ID×OD×L (mm).
☑Potrebna količina.
☑Molimo kontaktirajte nas za više posebnih potreba.